MES System 이해 돕기

원문: https://blog.naver.com/qoxmfaktmxj/222703939731

EX)

제품군 (ProductGroup 봉지라면, 컵라면) - LotCode

제품코드 (ProductSpec Product) - 신라면, 너구리, 안성탕면, 신라면컵라면, 너구리컵라면

Process Flow (Route)

생산공정1000. 반죽한다 (장비) - Recipe 용어 (1시간)

- 검사공정1001 (점도) (장비)

공정2000. 면뽑는다. (장비) - Recipe

- 검사2001 (두께) (장비)

공정3000. 튀긴다. (장비)

- 검사3001 (튀김정도) (장비)

공정4000. 자른다.

- 검사4001 (두께, 크기)

공정5000. 포장한다. (수프포함)

- 검사5001 (외관검사)

LOT - Wafer (Product, SubProduct) - 25 Wafer

- Durable : FOUP, Cassette, Reticle

- Consumable : 원재료 (밀가루, 소금, ….)

-

작업준비 (JobPrep) 시간, => 장비세팅 (Recipe Parameter)

작업시작 (JobStart) 시간, 투입량 (Wafer갯수)

작업종료 (JobEnd) 시간, 생산량 =>

- CycleTime : CycleTime, Leadtime, TactTime

- Yield (수율)

공장의 물리적 구성

공장 (Factory) : 물리적 위치에 따른 공장 코드로 나눔 (Ex. 서울 - A공장, 이천 - B공장 등등)

Area (Area) : CLN, PHOTO, ETCH, CMP, IMP, CVD, PVD, …

Bay (Bay) : 53,51,52,…

장비그룹 (MachineGroup) - PHOTO장비, ETCH장비, 계측장비 (Thickness) 그룹

장비 Machine (Equipment)

Port or SubMachine (Chamber)

1. System 및 개발 환경 예시

- FDC : Fault Desctection Classificatioin

- DCP : Data Collection Plan (DCOL)

- EAP : Equipment Application Program (장비와 통신 자동화해주는 프로그램)

- EIS : Equipment Integration System (MES)

- MHS : 반송 시스템

- MDM : 기준정보 시스템

- MES : 생산 실행 시스템

JAVA 기반 Server , C# Client, Middleware Tibco, SK C\&C smartFX, Team Foundation Server

- MMDM : 통합 기준정보 시스템

JAVA 기반 Server , C# Client, TCP/IP 통신